設備

　設備〔7機種〕

・走査型トンネル顕微鏡
・非接触型原子間力顕微鏡
・ペンシル型走査プローブ顕微鏡　フジ・インバック FSPM-8080
・走査型トンネル顕微鏡
・電解放出型走査型電子顕微鏡　日立ハイテクノロジーズS-5200
・走査型オージェ電子分光顕微鏡　アルバック・ファイ SAM670
・走査プローブ顕微鏡　アジレント・テクノロジーズ PicoScan2500

　走査型トンネル顕微鏡

■超高真空槽内で動作する走査型トンネル顕微鏡(STM)です。本装置は顕微鏡室、試料準備室の２つの真空槽から成り、顕微鏡室には原子スケールの空間分解能を有するSTM、探針を評価するFEM/FIM、電子エネルギー分析器、試料準備室にはArイオンスパッタ銃、LEED/AES、原子層レベルで蒸着量を制御できる蒸着装置を備えています。本装置を用いて、有機分子を用いた電子デバイスの基礎研究を進めています。

　非接触型原子間力顕微鏡

■超高真空槽内で動作する非接触型原子間力顕微鏡（NC-AFM）です。本装置では、シリコンを中心として探針先端と試料表面原子間の物理化学的相互作用の解析や、生体分子の画像化に成功しています。

　ペンシル型走査プローブ顕微鏡　フジ・インバック FSPM-8080

■富取研究室とフジ・インバック株式会社が共同で開発している走査型プローブ顕微鏡（SPM）で、走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope、SEM）の試料ホルダ先端に、小型のSPMを内蔵させたものです。SEMは数10～数100 nmのスケールでの試料観察を容易に行うことができます。SEMで観察しながら狙ったナノ構造にSPM探針を近づけ、解析・操作することができます。

　走査型トンネル顕微鏡

■超高真空槽内で動作する走査型トンネル顕微鏡(STM)です。本装置は顕微鏡室と試料準備室の２つの真空槽で構成されています。STMは単原子スケールの空間分解能を有し、試料準備室は表面原子の周期配列を観察する低速電子線回折装置（LEED）、表面の組成を分析するオージェ電子分光装置(AES)、原子や分子を堆積できる蒸着装置を備えています。本装置では、酸化物表面の研究を進めています。

　電解放出型走査型電子顕微鏡　日立ハイテクノロジーズS-5200

■試料表面のナノスケール観察が容易にできる、走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope、SEM）です。試料表面の局所的な組成を分析できる、エネルギー分散型X線分析装置も装備しています。

※本装置は、京都・先端ナノテク総合支援ネットワーク支援機器として整備されています。

　走査型オージェ電子分光顕微鏡　アルバック・ファイ SAM670

■試料表面を走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope、SEM）で観察し、位置分解能15 nmでオージェ電子分光分析を実施できる装置です。

※本装置は、京都・先端ナノテク総合支援ネットワーク支援機器として整備されています。

　走査プローブ顕微鏡　アジレント・テクノロジーズ PicoScan2500

■大気中や溶液中で動作する走査プローブ顕微鏡で、走査型トンネル顕微鏡計測および原子間力顕微鏡計測が可能です。

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